プローブ
PROBE
プローブ
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ニードル形状のプローブ自体は切削性の良い金属で加工をしてその頂点部分にイリジウムやロジウムなどのレアメタルを接合することに成功しました。
この技術により研磨等で単純な形状しか出来なかったレアメタルを複雑な加工を要するプローブの部品に組み込むことが出来ました。
一般的なプローブの材質であるBeCu（ベリリウム銅）の硬度はHV400程度ですが、イリジウムやロジウムはHV1000を超える硬度を持っております。
そして硬度に加えてこれらの材料は電気的特性にも優れております。
したがって、様々な材質の電極に安定したコンタクトを長い期間続けることが出来、メンテナンスサイクルを延ばすことが可能です。
使用例の一つとして電極の表面処理が硬いQFNなどをコンタクトプローブで評価しようとした際は接触性の悪化とピン先の摩耗に頭を悩ませることになりますがレアメタルプローブであればその悩みを解決することが出来ます。
