半導体向け
SEMICONDUCTOR
半導体向け
SEMICONDUCTOR
プローブカードは半導体の不良を検査する装置に使用する製品です。半導体を電気的に検査する工程は大きく分けて2種類あります。 ウェハー上で行う前工程、BGAやCSP、QFNなどパッケージした後に行う後工程の2つに分かれます。 前工程の検査ではプローブカードが使われます。
プローブカードはアドバンスト型・カンチレバー型の2種類あります。アドバンスト型は配線用基板にプローブなど垂直型端子を用いたブロックを取り付けるプローブカード。カンチレバー型は配線用基板にタングステンなどの針を直接基板に取り付けるプローブカードです。
精研ではコンタクトプローブの技術を生かしたアドバンスト型（垂直型）のみを取り扱っております。
| 垂直型 | カンチレバー型 | |
|---|---|---|
| ピンレイアウト | 自由な配置が可能 多個測向き |
一般的には周辺配列向き （※周辺以外も可） |
| メンテナンス性 | 必要な箇所のピンを交換 （社内修理可能） |
高さ調整を含む修理が必要 （一般的に業者修理） |
| 打痕 | 小さい （上から垂直にコンタクト） |
大きい (外側から内側へ スライドするようにコンタクト) |
| アルミ電極 | 不利 ※対策プローブ |
有利 （酸化膜に強い） |
| 価格 | 相対的に高い | 相対的に安い |
必要な条件に合わせてプローブカードの種類をご検討ください
